冶金级的硅质量都这么好,那最终生产制造出来的成品,也就是晶圆能达到什么样的质量程度呢。
这非常值得期待!
冶金级硅被堪称完美的生产制造出来,下一步就是生产制造电子级硅。
将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应,生成液态的硅烷,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,也就是电子级硅。
在技术人员的指导下,工人们已经在开始电子级硅的生产制造。
第一批电子级硅也被成功的被生产制造出来,其纯度高达99.999999999%。然后是后续一系列的工序,直至生产制造出合格的晶圆。
这些天,唐飞基本上一直待在九洲电子,甚至连万恒地产集团都没有时间去。
晶圆的生产过程还算比较顺利,脱氧提纯,生产出冶金级硅,接着又生产出电子级硅,后续一道道工序在进行。硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
唐飞几乎没有离开过九洲电子,直到第一批晶圆被生产制造出来。
成品的晶圆呈现薄薄的圆片状,直径八英寸,也就是八英寸的晶圆。它们看上去非常的漂亮,表面光滑如镜。
杨成林高兴的大声道:“老板,首批晶圆生产制造出来了!”
旁边的王兴奎也兴奋的道:“这就是芯片和集成电路的基本原料——硅晶圆片,这就是‘晶圆’。”
第一批晶圆被成功制造出来。
唐飞很高兴,朗声的道:“这应该是我们国内生产制造的首批八英寸的晶圆,这是零的突破。”
这绝对是零的突破,填补了国内空白!
只是不知道质量怎么样?
晶圆被生产制造出来,后面还有严格的检测工序,只有检验合格,坏点数在合格的范围之内,它们才算真正的合格产品。
唐飞深知这一点,挥手道:“安排检测,看一看我们第一批晶圆的质量如何。”
大家都很期待这批晶圆的质量情况,杨成林是如此,王兴奎是如此,参与这次晶圆试制的技术人员和生产工人们也是如此。
九洲电子有成套的,先进的检测设备,也有先进的检测手段,马上对这批晶圆进行质量检测,看其是否能达到质量要求。
几名技术人员,一些质量人员,大家都忙碌开了,对这批刚刚生产制造出来的晶圆进行质量检测。
连董波、马卫军和郝红霞三位技术专家都参与其中,严格的对这些晶圆进行检测。
晶圆测试,最典型的就是晶圆的针测工艺,九洲工业采用的就是这样的测试工艺,也有相关的针测设备。
主要检测晶圆上的不良,如坏点,破损,裂粒,气孔等等。
晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测,在检测头装上以金线制成细如毛发之探针,与晶粒上的接点接触,测试其电气特性,不合格的晶粒会被标上记号。
几名针测人员,一丝不苟,严格按照检测流程对晶圆进行检测,时间一分钟一分钟的过去。
其中一名检测人员额头冒出了汗水,连忙轻轻的擦一擦,看了看针测设备,又看了看被检测的晶圆,表情有一点不正常。
董波是专家,他发现了这名检测人员的不正常,连忙关切的问道:“小张,怎么了?”
小张缓缓的道:“董专家,好像有一点不对,是不是我们的检测设备出现了故障,你过来看一看。”
什么!
董波心中微微一惊,这可是崭新的,先进的检测设备,且还是系统出品的东西,怎么可能出现什么故障呢,难道是小张操作有误。
董波亲自操刀,开始了对晶圆的检测,旁边几名技术人员,几名质量人员,大家纷纷围了过来,看着董专家对晶圆的亲自检测。
“咦!”
董波轻轻的“咦”了一声,显得非常的惊讶。
也就是这一声惊讶,让旁边很多人的心跳加快,无形的紧张起来。有人甚至紧张得似乎心脏都要从喉咙里面跳了出来。
有人更是脱口而出,“董专家,怎么了,有什么问题!”
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